中微公司發布用於高性能Mini-LED量產的MOCVD設備Prismo UniMax

By PR Newswire on 17 Jun 2021

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上海2021年6月17日 /美通社/ -- 中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱"中微公司"，股票代碼：688012）今日宣布推出專為高性能Mini LED量產而設計的Prismo UniMax™ MOCVD設備，該設備在幫助LED晶片製造商提高產能的同時能夠有效地降低生產成本。

中微公司Prismo系列MOCVD設備已進入全球大多數先進的氮化鎵藍綠光LED製造商，此次推出的Prismo UniMax™是中微公司Prismo系列MOCVD設備的最新產品，該設備在同一系統中可配備多達4個反應腔。 Prismo UniMax™配置了創新的多區溫度補償加熱系統，具備優異的波長均勻性、重複性和穩定性。該設備還具有其他一些新穎特徵，如噴灑頭的最佳化設計實現了更好的均勻性和產出穩定性、超大直徑石墨盤可大幅提升產能並降低成本。 Prismo UniMax™MOCVD設備專為高產量而設計，具有業內領先的加工容量；通過石墨盤晶片排布的最佳化，其加工容量可以延伸到生長164片4英吋或72片6英吋晶片。

中微公司Prismo UniMax™ MOCVD設備已收到來自大陸先進客戶的訂單。同時，中微公司正在與更多客戶合作進行設備評估。 Prismo UniMax™ 設備拓展了中微公司的MOCVD設備產品線，亦為全球LED晶片製造商提供最新解決方案以應對Mini LED生產帶來的挑戰。

隨著LED電視、平板電腦、筆記型電腦、桌面顯示器、智慧手機和車載顯示等應用需求的不斷增長，Mini LED作為一種新興技術備受關注。Mini LED具有高亮度、精確的動態響應和高對比度等優勢，能夠顯著提升顯示品質。中微公司發布的Prismo UniMax™ MOCVD設備能夠幫助客戶在Mini LED生產過程中實現優異的波長均勻性和穩定性，這些指標也是Mini LED生產的致勝關鍵。

"Prismo UniMax™延續了中微公司現有Prismo平台的核心技術，是目前國內外極具創新性的MOCVD設備，為高性能的Mini LED生產提供高成本效益的技術解決方案。"中微公司董事長兼總經理尹志堯博士說道，"我們很高興看到公司開發的Prismo UniMax™設備已開始被國內先進的LED客戶所採用。產品不僅能滿足嚴格的技術要求，還能幫助客戶以更低的成本獲得更高的產量。我們欣喜地看到MOCVD設備市場即將迎來一個新的高潮。我們期待與我們的客戶和合作夥伴一同並肩努力，進一步推動Mini LED技術和MOCVD設備市場的發展。"

Prismo UniMax™是中微公司的註冊商標。

關於中微半導體設備（上海）股份有限公司

中微半導體設備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力於為全球積體電路和LED晶片製造商提供先進的加工設備和製程技術解決方案。中微公司開發的電漿蝕刻設備和化學薄膜設備是製造各種微觀元件的關鍵設備，可加工微米級和奈米級的各種元件。這些微觀元件是現代數位產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。中微公司的電漿蝕刻設備已被廣泛應用於國際一線客戶從65奈米到5奈米製程及更先進技術的眾多蝕刻應用，中微公司開發的用於LED和功率元件磊晶晶圓生產的MOCVD設備已在客戶生產線上投入量產，目前已在全球氮化鎵LED MOCVD設備市場佔據領先地位。