中微公司發佈用於深紫外LED量產的MOCVD設備Prismo HiT3™

By PR Newswire on 30 Jul 2020

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上海2020年7月30日 /美通社/ -- 中微半導體設備(上海)股份有限公司（以下簡稱「中微公司」，上交所股票代碼：688012）今日宣佈推出Prismo HiT3^TM MOCVD設備，主要用於深紫外LED量產。

中微Prismo系列MOCVD設備目前已進入全球大多數領先的藍綠光LED製造商，此次推出的Prismo HiT3^TM是中微Prismo系列MOCVD設備的最新產品。該設備是適用於高品質氮化鋁和高鋁化合材料生長的關鍵設備，反應室最高溫度可達1400度，具有優異的製程重複性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產量而設計，單爐可生長18片2吋磊晶晶片，並可延伸到生長4吋晶片。

中微公司Prismo HiT3^TMMOCVD設備早期的客戶包括國內領先的深紫外LED製造商馬鞍山傑生半導體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫療和科技研究設備等領域有廣泛應用。

深紫外光幾十年前就被應用於工業和民用消毒殺菌領域。它通過破壞細菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發揮作用。深紫外LED被用於不同波長的殺菌燈中，且與傳統的汞燈相比對環境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現使得深紫外LED產品的需求激增，深紫外LED產品可以消滅這些新生微生物。波長260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領域最先進的技術解決方案（例如傑生半導體的深紫外LED產品）。

中微公司設計的Prismo HiT3^TMMOCVD設備具有新穎的反應室設計，能在高溫製程環境下生長高品質氮化鋁，且生產出的產品具有業內領先的高良率；同時具備較長的免保養間隔時間（MTBM），進一步延長正常運行時間並提高產能。真空自動化傳輸系統可以抑制微小顆粒的產生，並減少良率缺陷。自動化升降機構可方便維修操作並有效節省維修時間。

「我們現在已經看到了深紫外LED帶來的切實好處，它已成為消滅有害病原體的重要工具。」傑生半導體有限公司董事長康健說道，「隨著深紫外LED技術的持續發展，我們為能夠在公共和家庭消毒產品領域處於領先地位而感到自豪。中微公司設計的Prismo HiT3^TMMOCVD設備可以滿足深紫外LED量產、低生產成本的製造需求。中微公司憑藉其世界一流的製程技術和高性能的MOCVD設備解決方案，是值得信賴的合作夥伴。」

「中微自主研發的Prismo HiT3^TM MOCVD設備延續了我們現有Prismo平臺已驗證的主要創新功能，並提升了可在高溫製程環境下生長氮化鋁基材的性能，使之拓展到深紫外LED的應用。」中微公司執行副總裁兼首席運營官杜志游博士說道，「傑生半導體始終致力於持續發展LED技術並創造有益於人類健康的產品，我們很高興傑生成為我們的早期使用者，同時也很榮幸我們的設備解決方案能夠幫助客戶研發下一代深紫外LED產品，並在技術研發和成本控制上幫助客戶達成目標。」

Prismo HiT3^TM是中微公司的註冊商標。

關於中微半導體設備(上海)股份有限公司

中微半導體設備(上海)股份有限公司(證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012)致力於為全球積體電路和LED晶片製造商提供領先的加工設備和製程技術解決方案。中微公司開發的等離子體蝕刻設備和化學薄膜設備是製造各種微觀元件的關鍵設備,可加工毫米級和奈米級的各種元件。這些微觀元件是現代數位產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。中微公司的等離子體蝕刻設備已被廣泛應用於國際一線客戶從65奈米到5奈米製程的眾多蝕刻應用，中微公司開發的用於LED和功率元件磊晶生產的MOCVD設備已在客戶生產線上投入量產,目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場佔據領先地位。